酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル

酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル

1-Methoxy-2-propanyl acetate

別称
PGMEA; 1-Methoxy-2-propanol acetate
識別情報
CAS登録番号 108-65-6 チェック
PubChem 7946
ChemSpider 7658
UNII PA7O2U6S2Q チェック
  • CC(COC)OC(=O)C
  • InChI=1S/C6H12O3/c1-5(4-8-3)9-6(2)7/h5H,4H2,1-3H3
    Key: LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N
  • InChI=1/C6H12O3/c1-5(4-8-3)9-6(2)7/h5H,4H2,1-3H3
    Key: LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYAD
特性
化学式 C6H12O3
モル質量 132.16 g mol−1
危険性
Hフレーズ H226, H360, H402
NFPA 704
2
1
0
引火点 43 °C (109 °F; 316 K)
発火点 333 °C (631 °F; 606 K)
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のグリコールエーテルである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA[2]、シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で[3][4]販売されている。

半導体業界では、ウェハーのビス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている[5]。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である[6]。


出典

  1. ^ GOV, NOAA Office of Response and Restoration, US. “PROPYLENE GLYCOL METHYL ETHER ACETATE - CAMEO Chemicals - NOAA”. 2016年7月9日閲覧。
  2. ^ http://www.dow.com/scripts/litorder.asp?filepath=oxysolvents/pdfs/noreg/110-00588.pdf
  3. ^ http://s00.static-shell.com/content/dam/shell/static/chemicals/downloads/responsible-energy/methylproxitol-pgmemethylproxitolacetatepgmeaproductstewardships.pdf
  4. ^ “Methyl PROXITOL”. 2016年7月9日閲覧。
  5. ^ “HMDS primer (hexamethyldisilazane), DEATS and PGMEA”. 2016年7月9日閲覧。
  6. ^ http://www.balazs.com/file/otherelement/pj/1_amc_guidelines_rev2.34642.pdf